真空腔体氦质谱检漏

            该检漏方法是真空检漏领域里不可少的一种技能，因检漏效率高，操作简单，仪器反应灵敏，精度高，不容易受到其他气体干扰，在真空检漏中得到了很多应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。