真空扩散泵机组的特点是抽气能力大，抽速从190L/S至49000L/S范围内可供选择；并可长时间稳定连续工作。扩散泵系列真空机组被应用在电子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物、原子能、宇宙探测等高科技领域。如各真空炉、真空镀膜设备、真空冷冻干燥设备等。典型真空机组是用气动阀门程序控制。
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